Jest to rodzaj destylacji w środowisku wysokiej próżni, ze względu na różnicę w ścieżce swobodnego ruchu cząsteczek materiału, przeprowadzono w procesie destylacji i oczyszczania materiału wrażliwego na ciepło lub materiału o wysokiej temperaturze wrzenia. Destylacja krótką ścieżką jest stosowana głównie w przemyśle chemicznym, farmaceutycznym, petrochemia, przyprawy, tworzywa sztuczne, ropa naftowa i inne dziedziny.